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强强联合!华特气体签订高纯三氟化氯研发合作协议
时间:2021-03-25 10:27:24

    近日,在乐山市人民政府副秘书长唐代祥、公司副董事长石思慧、四川红华实业有限公司(以下简称“红华实业”)董事长朱纪的共同见证下,公司总经理傅铸红和红华实业的总经理彭元明代表双方签署了高纯三氟化氯生产技术合作开发协议。

    根据公司的发展战略宗旨,公司持续以特种气体的研发为核心,打破更多的产品进口替代为使命,突破更多、更难的半导体材料应用技术难点为目标。经过多次调研、交流和探索选择了国内技术力量雄厚、检测手段齐全、研发能力强劲的红华实业为合作对象,拟共同研发高纯三氟化氯的核心技术,一举打破国外垄断市场的局面,使高纯三氟化氯快速实现国产化替代。
    2010年,日本关东化学、中央旭硝子、岩谷产业就已规模化生产出高纯三氟化氯产品,但我国仍少见高纯三氟化氯可用于芯片制程的产业化报道。目前,仍以日本、美国等国家垄断国内的市场。高纯三氟化氯主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗,由于其高氟碳比和较强的氟离子自由基,在先进制程中的应用越来越广泛,特别在14nm以下制程中,是不可替代的新型蚀刻材料。此外,高纯三氟化氯相比于普通的氟碳蚀刻材料,其极低的GWP值(全球变暖潜能值),也满足未来芯片制程向更环保、更加可持续发展的需求。 此次合作,双方强强联合,充分发挥双方多年的研究、应用成果和科研团队优势,进一步实现技术突破,从而达到进口替代的目标,并同时对促进国家半导体行业的发展上具有重要意义。随着半导体工艺的不断升级迭代,未来高纯三氟化氯在芯片制造、第三代半导体、面板等行业拥有广阔的市场潜力。此次合作将有助于提高公司的盈利能力和核心竞争力,助力公司深耕特种气体行业。
    乐山市经济与信息化局,公司运营总监、董事长助理,红华实业总会计师、副总经理、总工程师、科技委委员以及计划部、财会部、生产技术部、安全环保部、保密部、二分厂、分析计量室等相关单位负责人参加签约仪式。