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三氯氢硅

  • 产品名称:三氯氢硅
  • 化学品俗名:硅氯仿
  • 产品分子式:SiHCl3
  • 产品大类:沉积类
  • 产品细类:沉积类
  • 产品规格::
  • 储存方式:
产品说明三氯氢硅又称硅氯仿,别名硅仿、三氯硅烷、Trichlorosilane、Silicochloroform。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体。主要用于多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。
产品用途主要用于多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。
注意事项三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。
应用行业半导体、化工
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